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株式会社IHI検査計測

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材料試験

表面解析サービス

表面解析の用途

蒸着、イオンプレーテイング等による薄膜の形成プロセスでは、プロセス途中での膜の形成状況や形成終了後の膜の性状評価が重要なポイントとなります。
また、チタンやステンレス鋼のような高耐食合金でも材料表面へのガスや腐食性イオンの吸着・蓄積、酸化皮膜の形成などが起こり、予期せぬ変色が起きたり、腐食により内容物の流出等の問題が生じる場合があります。
表面解析によりこれらの定量データを得ることは、1)プロセス開発、2)製品の表面状態評価、3)経年変化/健全性評価の観点で重要です。

主要設備

FE-SEM/EDS分析装置

分析領域:深さ方向:数μm、観察視野:5×104

  • 特徴: 走査型電顕により表面形状を観察しながら元素の定性/定量分析実施する。表面形状および付着元素の概要の把握に適する。
  • 適用例: 付着物の組成分析、腐食生成物の分析
AES分析装置

分析領域:深さ方向:1nm、観察視野:104

  • 特徴: 深さ方向の分解能がnmオーダーレベルであり、極表面の分析および薄膜の分析に適する。併設するArイオン・スパッタリング装置を用いて、元素の深さ方向の分布測定が行える。
  • 適用例 : 複合蒸着膜の界面分析
XPS分析装置

分析領域:深さ方向:数nm、観察視野:5mmφ

  • 特徴: 深さ方向の分解能がnmオーダーレベルである。観察視野は、AESより広いが、元素の結合状態の分析より化学式の推定が可能。AESと同様に、元素の深さ方向の分布測定が行える。
  • 適用例: ステンレス鋼の不動態皮膜の構造分析
EPMA分析装置

分析領域:深さ方向:数μm、観察視野:104

  • 特徴: 走査型電顕により表面形状を観察しながら元素の定性/定量分析実施する。元素分布のマッピングが可能で元素の偏析状態の把握が可能。
  • 適用例: 拡散接合部の合金元素分布測定

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